Berita Industri

Sic Ceramic adalah bahan seramik yang dihasilkan oleh reaksi silikon (SI) dan unsur karbon (c), yang menampilkan kekerasan, rintangan haba dan kestabilan kimia yang sangat tinggi

Di dunia fabrikasi semikonduktor yang tinggi, ketepatan dan kestabilan adalah segala-galanya-dan di sinilah langkah-langkah elektrostatik Chuck (ESC) jauh lebih daripada sekadar alat pegangan, ESC menggunakan kuasa elektrostatik untuk mengaplikasikan wafer dengan selamat semasa proses kritikal seperti etching, pemendapan, dan implantasi ion. Tetapi bagaimana sebenarnya ia berfungsi? Mengapa ia lebih tinggi daripada pengapit mekanikal tradisional? Dan apakah peranan yang dimainkan dalam mencapai ketepatan nanoscale dan kecekapan throughput? Selamat datang ke Baca.

Prinsip Dechuck Chuck Electrostatic adalah bahagian utama aliran kerja yang melibatkan penghapusan kuasa elektrostatik dan mekanisme pelepasan wafer.