Berita Industri

The Electrostatic Chuck (ESC), yang juga dikenali sebagai Electrostatic Chuck (ESC, E-Chuck), adalah perlawanan yang menggunakan prinsip penjerapan elektrostatik untuk memegang dan menetapkan bahan yang terserap. Ia sesuai untuk persekitaran vakum dan plasma.

Pembawa wafer sic, sebagai bahan habis-habisan utama dalam rantaian industri semikonduktor generasi ketiga, ciri-ciri teknikal mereka secara langsung mempengaruhi hasil pertumbuhan epitaxial dan pembuatan peranti. Dengan permintaan yang melonjak untuk peranti voltan tinggi dan suhu tinggi dalam industri seperti stesen asas 5G dan kenderaan tenaga baru, penyelidikan dan penerapan pembawa wafer SIC kini menghadapi peluang pembangunan yang signifikan.

Seramik Alumina adalah "kerja keras" untuk pembuatan komponen seramik. Mereka mempamerkan sifat-sifat mekanikal yang sangat baik, titik lebur ultra tinggi dan kekerasan, rintangan kakisan, kestabilan kimia yang kuat, ketahanan tinggi, dan penebat elektrik yang unggul. Mereka biasanya digunakan untuk membuat plat penggilap, chuck vakum, lengan seramik, dan bahagian yang sama.