Bot grafit untuk pecvd

Permohonan: Veteksemicon Graphite Boat untuk PECVD adalah komponen teras dalam proses pemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma. Ia direka khusus untuk mendepositkan nitrida silikon berkualiti tinggi, silikon oksida dan filem nipis lain pada wafer silikon, semikonduktor kompaun dan substrat panel paparan. Prestasinya secara langsung menentukan keseragaman filem, kestabilan proses dan kos pengeluaran.

Perkhidmatan yang boleh disediakan: Analisis senario aplikasi pelanggan, bahan yang sepadan, penyelesaian masalah teknikal.

Profil syarikat: Veteksemicon mempunyai 2 makmal, satu pasukan pakar dengan pengalaman material 20 tahun, dengan keupayaan R & D dan pengeluaran, ujian dan pengesahan.

Maklumat produk umum

Syarat Perniagaan Produk

Bidang aplikasi utama

Saingan saya Graphite Boat untuk Kelebihan Teras PECVD

1. Substrat kemelut tinggi, mengawal pencemaran dari sumber

Kami berkeras untuk menggunakan grafit kemelut tinggi yang ditekan secara isostatik dengan kesucian yang stabil melebihi 99.995% sebagai bahan asas untuk memastikan ia tidak akan menimbulkan kekotoran logam walaupun dalam persekitaran operasi berterusan 1600 ° C. Keperluan bahan yang ketat ini boleh secara langsung mengelakkan kemerosotan prestasi wafer yang disebabkan oleh pencemaran pembawa, memberikan jaminan yang paling asas untuk mendepositkan filem silikon nitrida atau silikon oksida yang berkualiti tinggi.

2. Bidang terma yang tepat dan reka bentuk struktur untuk memastikan keseragaman proses

Melalui simulasi cecair dan data pengukuran proses yang luas, kami telah mengoptimumkan sudut slot bot, panduan kedalaman alur, dan laluan aliran gas. Pertimbangan struktur yang teliti ini membolehkan pengedaran seragam gas reaktif antara wafer. Pengukuran sebenar menunjukkan bahawa pada beban penuh, sisihan keseragaman ketebalan filem antara wafer dalam kumpulan yang sama boleh dikawal secara stabil dalam ± 1.5%, meningkatkan hasil produk dengan ketara.

3. Penyelesaian salutan yang disesuaikan untuk menangani hakisan proses tertentu

Untuk memenuhi persekitaran gas proses yang berbeza dari pelanggan yang berbeza, kami menawarkan dua pilihan salutan matang: karbon pyrolytic dan karbida silikon. Jika anda terutamanya mendepositkan silikon nitrida dan menggunakan pembersihan hidrogen, salutan karbon pirolytic padat dapat memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap hakisan plasma hidrogen. Jika proses anda melibatkan gas pembersihan yang mengandungi fluorin, maka salutan karbida silikon yang tinggi adalah pilihan yang lebih baik. Ia boleh memanjangkan hayat perkhidmatan bot grafit dalam persekitaran yang sangat menghakis hingga lebih daripada tiga kali produk yang tidak bersuara biasa.

4. Kestabilan kejutan terma yang sangat baik, boleh disesuaikan dengan kitaran suhu yang kerap

Terima kasih kepada formula grafit yang unik dan reka bentuk rusuk tetulang dalaman, bot grafit kami dapat menahan kejutan penyejukan dan pemanasan cepat yang berulang dari proses PECVD. Dalam ujian makmal yang ketat, selepas 500 kitaran haba pesat dari suhu bilik hingga 800 ° C, kadar pengekalan kekuatan lentur bot masih melebihi 90%, dengan berkesan mengelakkan keretakan yang disebabkan oleh tekanan haba dan memastikan kesinambungan dan keselamatan pengeluaran.

5. Pengesahan Pengesahan Rantaian Ekologi

Saingan saya Graphite Boat untuk Pengesahan Rantaian Ekologi PECVD meliputi bahan mentah kepada pengeluaran, telah meluluskan pensijilan standard antarabangsa, dan mempunyai beberapa teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kebolehpercayaan dan kemampanannya dalam bidang tenaga semikonduktor dan baru.

Untuk spesifikasi teknikal terperinci, kertas putih, atau pengaturan ujian sampel, sila hubungi pasukan sokongan teknikal kami untuk meneroka bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan kecekapan proses anda.