Berita

Artikel ini terutamanya menerangkan prospek aplikasi luas seramik silikon karbida. Ia juga memberi tumpuan kepada analisis punca keretakan pensinteran dalam seramik silikon karbida dan penyelesaian yang sepadan.

Teknologi etsa dalam pembuatan semikonduktor sering menghadapi masalah seperti kesan pemuatan, kesan alur mikro dan kesan pengecasan, yang menjejaskan kualiti produk. Penyelesaian penambahbaikan termasuk mengoptimumkan ketumpatan plasma, melaraskan komposisi gas tindak balas, meningkatkan kecekapan sistem vakum, mereka bentuk susun atur litografi yang munasabah, dan memilih bahan topeng goresan yang sesuai dan keadaan proses.